2025年12月20日，由半导体投资联盟和集成电路投资创新联盟主办、ICT知识产权发展联盟协办、爱集微承办的“2026半导体投资年会暨IC风云榜颁奖典礼”在上海隆重举行。华海清科股份有限公司（简称“华海清科”）成功斩获“年度半导体上市公司领航奖（离子注入机）”。
“半导体上市公司领航奖”旨在表彰那些在半导体细分领域占据头部地位，通过构建坚实技术壁垒、发挥规模化效益与产业生态影响力，有力推动行业升级的标杆上市公司。获奖企业代表着中国半导体产业的核心竞争力，其战略布局与技术前瞻性为产业与资本的深度融合提供了价值典范。
作为半导体前道制程的关键设备，离子注入机凭借可控的离子束能量与剂量调节能力，实现对晶圆的超精细掺杂加工。它突破了传统扩散工艺的局限性，能够在极小的空间尺度内精准调控半导体材料的载流子浓度，是支撑FinFET、GAA等先进制程芯片量产的核心技术装备。
华海清科2022年在上交所科创板上市，通过全资子公司芯嵛半导体发力离子注入机，已实现技术突破、产品矩阵完善、市场规模化落地三大核心成绩，成为国产高端离子注入装备的重要力量。
2024年底，华海清科收购芯嵛半导体82%股权，快速切入离子注入核心赛道，与CMP、减薄等原有优势业务形成协同，完善前道装备布局。
2025年7月，芯嵛半导体首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT出机并交付国内逻辑芯片龙头，补齐大束流全型号，解决先进制程晶格损伤与浅结注入难题，性能达国际主流水平。
最新一代大束流iPUMA-LE在束流均匀性、角度控制、置换率等指标接近国际竞品，可满足先进制程对精准掺杂的严苛要求，通过多家头部客户验证并获重复订单。
目前，华海清科已形成iPUMA-LE（水平带状大束流）、iPUMA-HT（高温）、iPUMA-HP（氢大束流）等机型，同步推进高能、中束流机型研发，覆盖逻辑、存储、特色工艺与大硅片制造。
在市场落地与产业价值方面，华海清科的12英寸大束流离子注入机已批量交付国内多家集成电路头部企业，实现从技术验证到规模化应用的跨越，重复订单的获取印证了产品稳定性。作为国产高端半导体装备的重要力量，其突破打破了海外厂商的垄断格局，带动上下游供应链协同发展，为半导体产业链自主可控提供了关键装备支撑。
因此，在本次“IC风云榜”评选中，华海清科以在离子注入机领域的关键突破，荣获“年度半导体上市公司领航奖（离子注入机）”。
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