5月26日，全省首个集成电路产业创新中心——辽宁聚芯智能装备创新中心在浑南区正式揭牌成立。省工信厅一级巡视员王丹群，市委常委、浑南区委书记、沈阳高新区党工委书记闫占峰出席成立仪式并分别致辞。区委副书记、区政府区长、沈阳高新区管委会主任任立辉出席，拓荆科技股份有限公司董事长吕光泉致辞。
辽宁聚芯智能装备创新中心以“落实国家集成电路产业自主可控战略，突破薄膜沉积设备及核心零部件‘卡脖子’难题，加速国产化替代，提升产业链韧性与安全水平”为使命，将打造集技术供给、人才汇聚、关键零部件孵化与验证于一体的产业核心引擎，为全省集成电路产业高质量发展提供坚实支撑。
王丹群在致辞中表示，希望辽宁聚芯智能装备创新中心锚定长远发展目标，聚焦高能级平台建设，对标国家级平台拓宽发展格局，坚持技术引领抢占产业发展高地，坚持补链强链延链集聚产业生态。省工信厅将持续强化创新要素保障，优化产业服务生态，全力推动创新中心规范化建设、实体化运行、高端化发展，为辽宁工业高质量发展注入强劲动能。
闫占峰表示，辽宁聚芯智能装备创新中心正式成立，既是辽宁集成电路产业发展的一件大事，更是沈阳打造“北方芯谷”、攻坚核心技术、筑牢产业安全的一件盛事。浑南区将始终秉承重商、亲商、安商理念，全力为创新中心建设运营做好服务保障，与合作伙伴一道，共同推动创新中心早出成果，为全国集成电路装备产业自主可控贡献辽宁力量、沈阳力量。
吕光泉表示，拓荆科技从“十四五”初期就开始规划这个项目，不但要自身实现高端半导体装备的突破，更要发挥整机带动作用，联合产业链各方力量，打造开放、专业、协同创新的平台，共同以技术创新引领产业发展。拓荆科技将与创新中心同呼吸、共命运，携手产业链伙伴，为半导体装备与零部件高质量发展贡献坚实力量。
成立仪式上，与会领导与16家股东共同为辽宁聚芯智能装备创新中心揭牌。中心定位于实体化运作的产学研用协同平台，紧扣薄膜设备核心赛道，重点围绕应用于先进制程领域的高端集成电路装备新产品、新技术的需求，开展关键零部件的核心技术开发、验证与应用，同步搭建设备及零部件研发、测试平台，依托各股东方的产业链资源，构建“研发—中试—产业化”的完整闭环。下一步，中心将持续整合优质资源、夯实创新实力，全力推动申报国家级工作。
