2026年3月13日，芯碁微装发布关于公司2025年度募集资金存放、管理与实际使用情况的专项报告。
2023年3月15日，公司获证监会同意向特定对象发行股票注册申请，发行10497245股，募集资金总额79768.56万元，净额78936.29万元，于2023年7月25日到账。截至2025年12月31日，已使用募集资金53944.48万元，本年度使用16123.08万元，现金管理余额22000万元，存储账户余额4773.45万元。
公司制定了募集资金管理制度，实行专户存储，并与海通证券及多家银行签署三方监管协议。募投项目包括直写光刻设备产业应用拓展深化项目、IC载板及类载板直写光刻设备产业化项目、关键子系统及核心零部件自主研发项目和补充流动资金项目，实际投资进度与计划无显著差异。
2025年4月23日，公司审议通过使用不超4亿元暂时闲置募集资金和不超3亿元暂时闲置自有资金进行现金管理的议案。截至2025年底，对募集资金进行现金管理的余额为22000万元。
容诚会计师事务所认为报告公允反映了2025年度募集资金实际存放与使用情况，保荐机构也认为公司募集资金存放与使用合规，无违规情形。
