北方华创“半导体工艺设备中的传输腔室及半导体工艺设备”专利获授权

集微网消息，天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“半导体工艺设备中的传输腔室及半导体工艺设备”的专利，授权公告号为CN112864053B，授权公告日为2024年4月16日，申请日为2021年1月26日。

本发明公开一种半导体工艺设备中的传输腔室及半导体工艺设备，所述传输腔室的上盖板（200）上开设有安装孔（210），所述安装孔（210）中密封设置有观察窗组件（100），所述观察窗组件（100）包括基座（110）、透明件（120）和压环（130）；所述安装孔中设置有承载台（220），所述基座（110）呈环形，设置在所述承载台（220）上，并与所述承载台（220）连接；所述压环（130）与所述基座（110）连接，所述透明件（120）夹持于所述基座（110）与所述压环（130）之间。上述方案能够解决观察窗组件安装或者拆卸过程中容易损坏的问题。