集邦：ASML工厂火灾恐冲击EUV相关的光学零组件供应

作者：赵月 2022-01-05

来源：爱集微 #ASML# #茂莱光学#

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集微网消息，ASML在德国柏林的一家工厂于1月2日发生火灾，据市调机构集邦咨询（TrendForce）初步调查结果显示，占地32,000平方米的厂区中，约200平方米厂区受火灾影响，该厂区主要制造光刻机中所需的光学相关零组件。

集邦咨询指出，目前该厂零组件以供应EUV机台较多，且以晶圆代工的需求占多数。若届时因火灾而造成零组件交期有所延后，不排除ASML将优先分配主要的产出支持晶圆代工订单的可能性。

此前ASML发文称，目前就损害或是否会影响其生产计划发表声明还为时过早，公司计划花几天时间进行调查并做出全面评估。

（校对/LL）

责编：李梅

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