近日，有投资者在投资者互动平台提问：公司高能离子注入机上半年出货量有多少台，对标国际企业的性能如何？
先导基电(600641.SH)9月3日在投资者互动平台表示，截至2026年上半年末，公司高能离子注入机客户突破3家。公司将不断提升研发水平和技术创新能力，为客户提供性能卓越、稳定可靠、降本增效的高端装备和工艺解决方案。
先导基电旗下子公司凯世通作为国内离子注入机领域核心厂商，目前已构建起覆盖低能大束流、中束流、高能、超低温等全谱系离子注入机产品矩阵，可满足先进逻辑、存储、功率器件、CIS、光电芯片等多领域工艺需求。其中高能离子注入机已通过客户端28nm产品验证，具备客制化设计能力，可适配CIS工艺、中高能氢注入等差异化场景。2026年上半年，公司半导体设备板块（核心为离子注入机业务）实现营收1.04亿元，同比增长1186%；凯世通当期新签4家客户订单，交付6台12英寸离子注入机、完成3台机台验收，截至报告期末累计客户达16家，2020年至今累计交付离子注入机超55台。目前全球离子注入机市场仍由美国应用材料、Axcelis等海外厂商占据90%左右份额，公司高能离子注入机的落地应用填补了国内该领域的技术空白，后续将持续依托控股股东在核心零部件领域的产业链协同优势，提升设备供应链国产化率，进一步强化产品在能量控制、束流稳定性等核心指标上的竞争力，加速推进国产化替代进程。
截至发稿，先导基电市值为298.17亿元，股价为31.49元/股，较前一日收盘价下降1.72%。
