近日，合肥恒芯半导体科技有限公司（以下简称“恒芯半导体”）宣布完成数千万元Pre-A轮融资。本轮由云泽资本、翌昕投资、三花智控旗下弘道基金联合投资。资金将重点用于臭氧产品的规模化交付、远程等离子体源（RPS）样机验证与量产准备，以及射频电源产品线的团队组建与研发投入。
公开资料显示，恒芯半导体成立于2024年12月，总部位于合肥经济技术开发区，专注于半导体前道制造核心零部件的自主研发与制造，产品线覆盖半导体级臭氧发生器及系统、远程等离子体源、射频电源等，应用于CVD与ALD氧化、晶圆与腔室在线清洗、刻蚀及薄膜沉积等环节。核心团队来自国际头部等离子体及反应气体零部件厂商，覆盖研发、工艺、供应链、生产制造全链条，创始人袁立强拥有约15年半导体行业经验。公司依托自主研发的核心放电单元与电控系统，掌握从放电单元、腔体到整机系统的底层技术，臭氧发生器、远程等离子体源与射频电源共享功率电子与变换、等离子体物理、反应腔与气体流场设计等同源技术底座，具备向平台型企业演进的能力。
目前，公司臭氧产品已通过国内头部存储晶圆厂商及半导体设备厂商验证并实现批量交付，覆盖薄膜沉积与清洗两类设备，同步推进主要逻辑晶圆厂的导入；远程等离子体源已进入样机交付阶段。恒芯半导体创始人表示，核心零部件竞争最终取决于产品的一致性、可靠性与长期稳定供应能力，公司将加快多产品线的客户验证与量产落地，为国内设备厂与晶圆厂提供性能对标国际一线、供应稳定可靠的核心零部件。
