2026年6月3日，中微公司发布《上海市锦天城律师事务所关于中微半导体设备(上海)股份有限公司2023年限制性股票激励计划第三个归属期、2025年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件暨作废处理部分限制性股票之法律意见书》。
截至法律意见书出具日，公司就本次实施已取得必要批准和授权。2023年限制性股票激励计划授予的限制性股票于2026年6月12日至2027年6月11日进入第三个归属期，归属条件已成就。2023 - 2025年三年累计营业收入增长率为484.69%，大于对标企业算术平均增长率，公司层面归属比例100%；1146名激励对象个人层面归属比例为100%，6名激励对象为90%。
2025年限制性股票激励计划授予的限制性股票于2026年6月10日至2027年6月8日进入第一个归属期，归属条件已成就。2025年度公司营业收入增长率为36.62%，大于对标企业算术平均增长率，公司层面归属比例100%；2326名激励对象个人层面归属比例为100%，12名激励对象为90%。
2023年限制性股票激励计划因59名激励对象不具备资格、6名激励对象绩效考核不达标，合计作废12.7917万股；2025年限制性股票激励计划因120名激励对象不具备资格、12名激励对象绩效考核不达标，合计作废51.3106万股。本次合计作废64.1023万股。
