天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司近日取得一项名为“半导体工艺方法和半导体装置系统”的专利，授权公告号为CN114883189B，授权公告日为2025年10月17日，申请日为2022年5月27日。
本发明提供一种半导体工艺方法，包括：执行半导体工艺，半导体工艺包括在预定基板上制作第一芯轴图案，在每个第一芯轴的两侧制作第一侧壁，去除第一芯轴，利用第一侧壁对预定基板进行加工，以形成多个鳍片结构；根据多次执行半导体工艺时，第一芯轴的宽度值以及对应的鳍片结构之间的间距，对下一次执行半导体工艺时第一芯轴的宽度值进行调节，使鳍片结构之间的间距趋于一致。本发明提供的半导体工艺方法能够在量产过程中根据前面执行工艺的工艺结果实时对下一次执行工艺时第一芯轴的宽度值进行反馈调节，进而实时稳定维持鳍片间距的均匀性，保证产品性能、提高产品良率。本发明还提供一种半导体装置系统。
