近日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（证券简称：中科仪）成功通过北京证券交易所上市委员会审议。此举不仅标志着这家拥有近70年深厚技术积淀的“硬科技”企业正式叩开资本市场大门，迈入产融结合、加速发展的新阶段，更彰显了我国在高端真空装备这一关键战略领域自主创新能力的重大突破。
自1958年创立以来，中科仪始终肩负“引领真空技术、支撑科技创新”的使命，作为中国科学院体系内专注于洁净真空与超高真空技术的领军企业，长期服务于国家战略需求与产业升级。公司主营业务聚焦于干式真空泵及真空科学仪器设备的研发、生产与销售，其核心产品广泛应用于集成电路晶圆制造、光伏电池生产等泛半导体领域，并深度参与国家重大科技基础设施建设。中科仪的成长史，是一部打破国外技术垄断、实现高端真空设备国产化替代的奋斗史，是国内少数能够在该领域与国际巨头抗衡的中坚力量。
技术创新是中科仪最核心的竞争力。公司依托真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三大国家级研发平台，构建了强大的自主研发体系。累计荣获6项国家科技进步奖（含特等奖1项、一等奖1项），承担13项国家级重大科研专项，其中包括4次承担关乎国家信息产业安全的“国家极大规模集成电路制造装备及成套工艺（02专项）”研发任务，彰显了其国家战略科技力量的定位。
截至2025年6月30日，公司已拥有100项发明专利，牵头或参与制定13项国家、行业及团体标准。其掌握的八大核心技术均已实现产业化。特别是在干式真空泵领域，通过无油真空获得及精密加工技术，将极限真空度降至0.2Pa，抽速覆盖范围广；干泵抽气结构技术打造的明星产品如SGM-1200A，在功耗、尺寸等关键指标上达到国际先进水平，展现了卓越的工程化能力。
在半导体这一技术壁垒最高、国产化需求最迫切的领域，中科仪的突破具有里程碑意义。其干式真空泵产品已全面满足14nm先进逻辑芯片、128层及以上3D NAND存储芯片的制造工艺要求，成为国内唯一实现集成电路先进制程全工艺（清洁、中等、苛刻）批量应用的企业。
市场表现印证了其技术实力。截至报告期末，公司干式真空泵累计出货量超4万台，其中集成电路领域超3万台。2024年，公司在国内集成电路干式真空泵市场的占有率已达12.72%，稳居国产厂商第一位。客户网络覆盖长江存储、长鑫科技、中芯国际、北方华创等国内产业龙头，并成功通过台积电、英特尔（大连）、SK海力士等国际顶尖半导体制造商的严格认证，实现小批量供货，获得了全球市场的认可。
坚实的业务基础支撑了公司稳健的财务表现。2022年至2024年，中科仪营业收入从6.98亿元增长至10.82亿元，复合年增长率达24.51%；扣非后归母净利润从6186.11万元增长至8787.75万元，复合年增长率为19.19%。2025年前三季度，营收与净利润继续保持同比增长。公司预计2025年全年营业收入将达到12.41亿元至12.81亿元，增长势头强劲。
尤为值得关注的是，公司始终将研发置于战略核心，研发投入占比连续多年保持在8%以上。仅2023与2024两年，研发投入合计就高达1.95亿元，为技术的持续迭代和未来的产品创新奠定了坚实的资金基础。
此次 IPO，中科仪拟募集资金 8.25 亿元，投向干式真空泵产业化建设、高端半导体设备扩产及研发中心建设、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发三大核心项目。
中科仪的快速发展，离不开其背后强大的股东支持。公司控股股东为国科科仪（持股35.21%），实际控制人为中国科学院，这确保了公司能够持续获得源头性的科研资源与前瞻性技术指引。第二大股东国家集成电路产业投资基金（持股19.73%）的深度参与，则为公司带来了宝贵的产业链资源整合能力和产业化落地支持，形成了独特的“国家级科研力量+国家级产业资本”双轮驱动发展格局，协同效应显著。
