天眼查显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司 “偏振器件透光轴标定装置及偏振器件透光轴标定方法”专利公布，申请公布日为2025年2月14日，申请公布号为CN119437647A。
本发明提供一种偏振器件透光轴标定装置及方法，借助线栅偏振片以及利用旋转电机带动偏振器件旋转来对偏振器件透光轴进行标定，在旋转电机带动偏转器件旋转过程中，若测得的光功率最小，则表示线栅偏振片的刻画方向与偏振器件的透光轴的方向平行，基于此，在标定过程中，测量线栅偏振片的线栅刻画方向与所述机械基准之间的夹角Φ，测量所述偏振器件的透光轴标记与所述机械基准之间的夹角α，以及记录光功率值最小时旋转电机的旋转角度θ，而后利用Φ、α及θ即可计算得到偏振器件的透光轴相对透光轴标记的角度，由此可以完成对于偏振器件透光轴的标定，且操作过程简单。
