韩国半导体大厂相继开启氖气回收，回收率超70%

集微网消息，据韩国业界消息，韩国半导体巨头三星电子、SK海力士正利用氖气回收技术，以实现可持续发展，并降低成本、减轻供应风险。氖气（Ne）是一种稀有气体，是晶圆光刻工艺中的关键原料，根据2022年数据，乌克兰占全球氖气产能的70%~80%。

SK海力士近日宣布与韩国气体供应商TEMC合作，在氖气回收方面取得突破。三星电子也紧随其后，计划在2025年将氖气回收技术整合到其制造工艺当中。

氖气用于半导体光刻中激发激光，通过利用装置收集废气，SK海力士与TEMC实现了72.7%的氖气回收率，并计划将效率进一步提升至77%。韩国的氖气一直依赖从俄罗斯、乌克兰、中国进口，由于地缘政治紧张，氖气价格从2021年的59美元/升飙升至2022年的1613美元/升。实现氖气回收，不仅能够降低成本，而且还可以帮助减少碳排放。

继SK海力士之后，三星电子的设备和解决方案（DS）部门也于2024年3月在半导体生产线试验氖气回收，测试结果表明，产品性能没有受到任何影响。

（校对/孙乐）