云德材料精彩亮相第十一届(2023)半导体设备材料与核心部件展示会

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宁波云德半导体材料有限公司(下称,云德)成立于 2018 年 12 月,是一家专业从事半导体设备非金属精密零部件/耗材研发、生产、销售及服务的企业,产品以高纯石英、精密陶瓷、硅材质为主,广泛应用于集成电路,化合物半导体,新能源光伏领域,并可延展至医疗及航空航天军工等领域。云德是国家级专精特新“小巨人”企业、国家高新技术企业、国家科技型中小企业,并荣获多项市区级荣誉,截止目前已累计获得多项发明及实用新型专利。

云德掌握可满足大尺寸、复杂结构、高精度零部件严苛标准的精密机械加工、组装、检测等多种技术工艺,拥有业内领先的100级洁净环境洗净能力及洗净质量控制能力。当前,云德在服务国际半导体产业链的同时,通过与国内龙头设备企业深度合作,助力客户实现半导体设备精密零部件/耗材的规模国产化及自主可控。

系列产品

石英环

石英环主要应用于干法刻蚀设备中,位于反应腔体内,直接作用于硅片的承载与支撑。因其直接暴露在等离子体反应环境中,少数还有密封需求,所以对产品纯度和表面状态有较高要求,需要通过材料选择、过程管控和最终洗净控制产品质量。

石英双层管

石英双层管主要应用于氧化扩散设备以及薄膜设备中,通过两端密封的方式形成反应区域,通过外部水冷的方式降低温度,以保证氧化、扩散、沉积等工艺的稳定性和工艺效果。因其使用温度过高以及内部气体腐蚀等原因,需要定期更换,属于耗材中的一种。

石英槽

石英槽主要应用于湿法刻蚀设备中,其内主要承载化学品和装载有硅片的石英载具,并通过喷淋管对槽内石英载具上的硅片的表面进行化学物质均匀喷洒,以达到湿法刻蚀效果。其对整体密封和喷淋角度等要求非常严格,具有一定的加工门槛。

责编: 爱集微
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