天狼芯公布专利 系垂直型鳍状功率器件及其制备方法、芯片

集微网消息，天眼查消息显示，深圳天狼芯半导体有限公司“一种垂直型鳍状功率器件及其制备方法、芯片”专利公布，申请公布日为5月30日，申请公布号为CN116190236A。

图源：天眼查

专利摘要显示，本申请属于半导体技术领域，提供了一种垂直型鳍状功率器件及其制备方法、芯片，通过在半导体衬底的正面依次外延生长N型漂移层以及P型开关隔离层，然后对P型开关隔离层的指定区域进行N型掺杂形成电压信道层，以将P型开关隔离层划分为第一开关隔离区和第二开关隔离区，在电压信道层上形成N型连接区，并在N型连接区两侧形成第一源极掺杂层、第二源极掺杂层以及多个交替设置的P型掺杂结构和N型沟道结构，在P型掺杂结构上形成栅极金属层，通过栅极金属层以及鳍状结构的P型掺杂结构感应得到多条电流通道达到源极，由P型掺杂结构上的栅极金属层感应出电流通道即可开启器件，从而可以同时兼顾低成本与器件效能。（校对/姜羽桐）