中晟光电发运国内客户首台砷化镓/磷化铟外延MOCVD设备

作者： 魏健 2022-09-15
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集微网消息，据中国证券网报道，9月12日，中晟光电发运国内客户首台砷化镓/磷化铟（GaAs/InP）外延MOCVD（金属有机化合物化学气相沉积）设备ProMaxy PE。

图源：中国证券网

据悉，中晟光电ProMaxy PE设备采用自主创新的气体均匀传输和快速切换控制等核心技术，旨在有效解决光通迅/激光器件等对外延材料生长的界面特性控制难题，并保障外延材料厚度和组份的均匀性，为提高器件的整体性能奠定基础。

中晟光电于2011年5月在上海浦东张江高科技园区成立，研发、生产的MOCVD设备是第二、三代半导体分立器件生产的关键设备。

2021年10月，中晟光电终止新三板挂牌。中晟光电曾指出，公司摘牌后将继续潜心推进MOCVD设备的国产化、产业化工作，为化合物半导体产业持续发展提供支持。将进一步做好投资者关系管理工作，维护股东权益，不断提升公司规范治理能力。（校对/赵碧莹）

责编： 赵碧莹
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