中微公司5纳米刻蚀机拟下半年发运台积电美国工厂

集微网消息，据上观新闻报道，由中微半导体设备（上海）股份有限公司制造的刻蚀机，将于今年下半年运往台积电美国工厂，用于5纳米工艺芯片生产。

报道显示，位于金桥综保区的中微公司在本轮上海疫情期间坚持闭环生产，公司经营不断取得新突破，在闭环生产中，公司原材料进口需求也得到浦东海关大力协助，海关方面指导中微公司通过“单一窗口”“互联网+海关”等渠道在线办理申报，并通过在口岸实行外观查验后即刻放行，货物在企业洁净室符合条件环境下再行拆箱查验的新模式，使进口货物查验通关由此前的两周变为两三天。

报道还透露，同样位于综保区的安集微电子科技（上海）股份有限公司，也得到浦东海关大力帮助，使安集科技成为上海市各综保区中首家“保税研发”试点。大大节约企业成本，进而反哺研发，公司化学机械抛光液7至10纳米研发项目进度大大提速。（校对/朱秩磊）