万业企业：凯世通的高能离子注入机设备已顺利通过验证并完成验收

集微网消息，12月27日，万业企业在互动平台表示，公司旗下凯世通的高能离子注入机设备已顺利通过验证并完成验收。目前公司正在积极推进相关业务。

据悉，万业企业于2018年收购凯世通，以集成电路离子注入机为“拳头”产品，正式进军集成电路装备赛道。

凯世通创始团队主要来自世界知名离子注入机公司，深耕离子注入机领域30多年，在集成电路产业界工艺技术更新换代之际率先开发过多款畅销离子注入机。随着集成电路芯片工艺制程不断微缩，针对国内外客户先进工艺芯片制造的离子注入需求，凯世通选择“领先一步”的产品定位策略，在“10nm及以下三维器件结构FinFET集成电路离子注入机研发与产业化”科技项目支持下，开发面向前沿工艺的离子注入机（基于超越7纳米离子注入平台），并建立相应的研发平台、核心关键技术及工艺的研究参数数据库和性能检测规范标准。

今年5月，凯世通低能大束流离子注入机率先在国内12英寸主流集成电路芯片制造厂完成设备验证验收工作，这也是国产首台完成主流客户验证并确认收入的国产低能大束流设备，标志国产化设备在成熟工艺这一重大技术领域取得商用化突破。

（校对/Arden）