捷佳伟创今日发布消息称，创微微电子自主研发生产的首批集成电路全自动湿法设备成功交付客户。
图片来源：捷佳伟创
捷佳伟创的全资子公司常州捷佳创精密机械有限公司于2019年成立了半导体湿法工艺研究室，常州捷佳创精密机械有限公司于2020年9月投资成立了创微微电子（常州）有限公司，专门从事集成电路湿法清洗工艺设备的研发、生产和销售，设备主要包含槽式及单晶圆湿法清洗设备。
据悉，创微微电子已取得重要客户在槽式湿法清洗设备上的批量订单，并于2021年7月21日成功交付3套集成电路全自动槽式湿法清洗设备至客户进行大批量生产。同时正在设计制造中的设备还包含了用于MicroLED、第三代化合物半导体及集成电路IDM厂的槽式清洗设备及相关附属设备，涵盖了集成电路200mm以下近70%湿法工艺步骤，包含有光刻胶去除、氧化膜刻蚀、金属膜刻蚀、炉管前清洗及有机溶剂清洗等，拥有Cassette 与Cassette less 两种类型，覆盖晶圆尺寸从100mm~200mm。（校对/图图）
