电科装备48所:已建立国产集成电路核心装备技术体系

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(文/春夏)7月5日,湖南省第二届集成电路产业发展高峰论坛举行,论坛上电科装备董事长左雷还表示,电科装备48所在湖南省委和中国电科的支持下,从零开始,目前已经建立起国产集成电路核心装备技术体系,在集成电路制造关键装备方面实现了重大突破。

(图片来源:电科装备)

据悉,电科装备48所是我国以离子注入机为主的微电子装备供应商、以MOCVD设备为主的光电子装备供应商,是我国太阳能光伏制造装备供应商、磁性材料制造装备供应商。

对于离子注入机的研制,电科装备48所或从1970年就开始了,1989年48所自行研制的LC4-700KeV高能离子注入机正式交付中国科学院半导体研究所和电子部光电技术研究所使用。LC4-700KeV高能离子注入机于1989年被评为电子部科技进步特等奖,1992年被评定为国家科技进步二等奖。

据长沙晚报报道,产业链各方正在长沙建设我国集成电路“微处理器”产业特色集聚区。(校对/小北)

责编: 赵碧莹
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