在天车穿梭、洁净无尘的晶圆厂上空，每一片晶圆的流转都依赖一张看不见的“空中运输网”——自动化物料搬运系统（AMHS）。它承担着晶圆盒在数百台工艺设备之间的精准投送，是GIGA FAB（超级晶圆厂）高效运转的“主动脉”。
作为国内领先的AMHS全厂规划与解决方案提供商，尊芯科技（上海）有限公司成立于2020年3月，专注于半导体晶圆厂AMHS的研发与生产。其核心技术团队来自日本、韩国和中国台湾等AMHS先进地区，具备二十余年AMHS全球龙头技术与战略背景，是国内少有的具备全栈技术与全厂景经验的团队。公司自主研发Phoenix Suite™软件系统与ZEUS™硬件系列，能够提供从咨询服务、系统软件、控制软件、硬件设计到现场调试及后续服务的一站式Total AMHS Solution。
近日，我们对话了尊芯科技技术委员会成员。这位拥有多年TSMC现场经验的专家，先后在多个GIGA FAB项目中，从AMHS系统设计、调整试运转到正式投运全程深度参与。本篇专访中，他围绕轨道布局设计与OHT硬件细节两个话题，分享了行业中的难点。以下为对话实录。
Q1：GIGA FAB轨道布局的设计，在行业中的难点在哪里？
我过去曾参与过多个GIGA FAB项目，从AMHS系统设计到系统调试和正式投运，全程深度参与，积累了比较丰富的实战经验。
根据这些经验，我认为轨道布局设计最重要的，并不是简单地用轨道连接生产设备，而是如何实现整个工厂的高效搬运和稳定运行。为此，必须充分理解客户的生产工艺流程和搬运需求，同时考虑交通拥堵、系统故障的影响以及未来设备扩建等因素。
另外，我们需要分析From-To数据，掌握各工序之间的搬运关系和搬运量，并在此基础上设计高效的搬运路径。
在我看来，轨道布局设计绝不仅仅是在CAD上绘制图纸，而是一项以优化整个工厂搬运系统为目标的重要系统工程。
图：尊芯科技 ZEUS™ 硬件
Q2：加入尊芯后，您带来了哪些经验和突破性的内容？
加入尊芯后，我充分发挥过去积累的经验，不仅致力于提升OHT的行驶性能，也注重提高安全性和搬运品质。
不同厂商的OHT在外观上看起来比较相似，但在细节设计理念和机械结构方面，往往体现出各自技术能力和经验积累的差异。尊芯采用了新的机械结构，以减少行驶过程中传递到载具的振动。其它方面例如操作人员的安全防护、载具防坠落措施，以及运行噪声和异常声音的降低等，这些细节上的不断改进，对OHT整体的可靠性和搬运品质有着重要影响。
在尊芯，我们将过去在大型FAB项目中积累的经验应用到产品设计中，追求的不仅仅是更高的行驶速度，而是实现安全性、可靠性和搬运品质高度兼顾的OHT系统。
结语
以系统思维统筹全厂轨道布局，以细节匠心打磨每一台OHT。正如受访者在对话中反复强调的：真正决定AMHS成败的，是“整个工厂高效搬运与稳定运行”的大局观，也是对振动、噪声、防坠落这些细节的持续改善。这种从工厂全局到机械细节的双向贯通，正是尊芯对“软硬件协同”的理解。在ZEUS™硬件的可靠底座之上，Phoenix Suite™软件如何让整张搬运网络“思考”起来，另外还有哪些内容将与大家分享，敬请期待。
