2026年10月27日，上海易启芯程半导体有限公司就全自动晶圆刻蚀设备项目正式发布中标结果公告。
本次中标方为上海芯源微企业发展有限公司，该企业同时为本项目设备的制造商，注册地为中国。
本次项目编号为0613-264025125409，招标范围为全自动晶圆刻蚀设备，由上海机电设备招标有限公司担任招标机构。项目开标时间为2026年10月20日10:00，公示期为2026年10月23日09:54至2026年10月26日23:59。
【中标】上海易启芯程半导体全自动晶圆刻蚀设备中标结果公布
来源：爱集微
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