近日，合肥致真精密设备有限公司（简称“致真设备”）完成新一轮融资，投资方为航源基金、深圳市矢量芯航投资合伙企业（有限合伙）和深圳市矢量科学仪器有限公司。
公开资料显示，致真设备成立于2021年5月，总部位于合肥新站高新区，是国内少数具备单原子层精度的高端物理气相沉积装备自研制造企业。公司主营科研级和产业级磁控溅射设备，覆盖4至12英寸晶圆制造工艺，打通了从科研样机、中试设备到大生产设备的完整产品链条，致力于半导体、量子材料、新型存储领域薄膜沉积设备的国产替代。
2025年10月，公司12英寸高精度薄膜沉积设备项目曾荣获全国博士后创新创业大赛铜奖。公司先后获评国家高新技术企业、合肥市集成电路重点产业链企业，并摘得中国仪器仪表学会技术发明一等奖。
