大族激光:公司光刻机项目分辨率3-5μm,和阿斯麦没有合作

作者: 施旭颖
2020-09-22 {{format_view(26089)}}
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大族激光:公司光刻机项目分辨率3-5μm,和阿斯麦没有合作

集微网消息,9月22日,大族激光在互动平台答投资者提问时表示,公司光刻机项目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等方面的应用,和荷兰阿斯麦公司没有业务往来。

此前,大族激光发布投资者调研相关信息,公司在激光器、切割头、数控系统、电机等核心部件上,均具备自产能力。

大族激光当时透露,近年来,公司大功率光纤激光器的自产率正逐步提升,激光器核心部件的自产率超过90%。公司光刻机项目进展顺利,主要聚焦在5G通讯配套分立器件、LED、Mini/Micro-LED新型显示等方面的应用,已经实现小批量销售。(校对/若冰)

责编: 韩秀荣
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