烁科晶体：实现8英寸N型碳化硅抛光片小批量生产

作者：魏健

2022-03-03

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山西烁科晶体有限公司（简称“烁科晶体”）消息称，企业已于2022年1月实现8英寸N型碳化硅抛光片小批量生产，向8英寸国产N型碳化硅抛光片的批量化生产迈出关键一步。去年8月，烁科晶体已研制出8英寸碳化硅晶体，解决大尺寸单晶制备的重要难题。

图源：烁科晶体

烁科晶体官网显示，公司成立于2018年，是国内从事第三代半导体材料碳化硅生产和研发的领军企业。公司通过自主创新和自主研发全面掌握了碳化硅生长装备制造、高纯碳化硅粉料制备工艺，N型碳化硅单晶衬底和高纯半绝缘碳化硅单晶衬底的制备工艺，形成了碳化硅粉料制备、单晶生长、晶片加工等整套生产线，并在国内率先完成4、6、8英寸高纯半绝缘碳化硅单晶衬底技术攻关。（校对/Winfred）