国内薄膜铌酸锂光子芯片产业化取得重要进展!这条产线在南京启动

作者: 依然
04-11 18:31 {{format_view(8532)}}
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国内薄膜铌酸锂光子芯片产业化取得重要进展!这条产线在南京启动

4月11日上午,南智先进光电集成技术研究院(简称“南智光电”)铌酸锂光子芯片产线启动仪式在新区举行。

 

南京江北新区消息显示,本次启用的产线,具备了光刻、刻蚀、镀膜、研抛、湿法等系列核心技术工艺。这意味着国内薄膜铌酸锂光子芯片产业化取得重要进展。产线配备3.5亿元规模设备、5000平方米超净间,覆盖了整个产业链的核心工艺,月产能一千片晶圆。

据悉,作为光电产业老前辈,祝世宁院士一直带领团队勇闯“无人区”,聚焦光电产业里的冷门赛道铌酸锂材料领域,坚持实现更多原创突破。2018年,在南京大学和南京江北新区支持下,祝世宁团队在新区产业技术研创园落地南智光电,并负责建设运营光电公共技术平台,瞄准下一代光电芯片技术在基础材料、器件工艺等方面的需求,开展研发工作。

未来,以铌酸锂光子芯片产线为基础,南智光电将能够面向国内外光电企业提供芯片研发及流片支持。(校对/韩秀荣)



责编: 韩秀荣
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