2022年中国大陆半导体设备企业专利榜单

作者：王琪

2022-12-29

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目前，全球疫情得到一定程度的控制，经济在逐渐复苏，半导体行业缺芯潮也得到了缓解。2021年全球半导体设备领域的销售额激增，据国际半导体产业协会（SEMI）统计，相比2020年的712亿美元增长了44%，达到了1026亿美元，预计2022年将进一步增长15%至1175亿美元。值得一提的是，2021年，中国大陆第二次成为全球半导体设备的最大市场，销售额增长58%，达到了296亿美元。从以上数据可以看出，中国大陆半导体设备领域国产替代的步伐正在加快。国产设备相关企业在国家政策和资金大力支持下，在刻蚀、薄膜沉积、测试等多个领域不断取得突破，部分技术甚至打破了行业巨头的垄断，达到了国际同等水平。

而专利实力往往是企业技术创新水准与市场话语权的重要体现，国内半导体设备企业对其核心技术进行全面的专利布局，能够在该领域占据更有利的竞争地位。爱集微知识产权对中国大陆半导体设备领域企业的专利情况进行了全面梳理，权威发布中国大陆半导体设备领域企业专利榜单，多维度解读企业专利现状，为公众和投资机构了解中国大陆半导体设备领域企业的技术竞争力提供直观的参考。

下文涉及的专利数据统计规则说明如下：

1、企业包括“企查查”统计的“持股比例”或“对外投资比例”50%以上的主体；

2、统计数据截至2022年9月30日，来源IncoPat专利数据库，爱集微知识产权整理；

3、海外专利包含世界知识产权组织（WO）和中国台湾地区（TW）专利。

中国大陆半导体设备领域企业——创新实力榜单

爱集微知识产权从专利类型布局、有效性和海外布局、文献、法律和经济等五个维度选取客观指标，基于合理的权重生成爱集微专利价值度评分，用以量化企业专利的价值高低。相对于单纯以专利数量排名，爱集微专利价值度提供了更加客观的专利评估指标。爱集微知识产权根据企业的专利数量和爱集微专利价值度评分，计算得到各企业专利创新实力的分值，在此基础上发布中国大陆半导体设备领域企业专利创新实力榜TOP20。

中国大陆半导体设备领域企业专利创新实力榜TOP20中，北方华创拔得头筹，得分大幅领先其他企业，其专利总量5158件，爱集微专利价值度也名列前茅，继续保持明显创新优势，这也在一定程度上反应出北方华创较强的技术创新实力和专利保护程度。北方华创一直致力于生产薄膜沉积、刻蚀两种核心工艺设备，以刻蚀为例，2022年公司在等离子体刻蚀方面突破了三项核心技术：刻蚀过程中颗粒控制技术、等离子体源系统设计、多区温控静电卡盘设计技术，开发出基于自对准双重图形技术（Self-aligned Double Patterning，SADP）的刻蚀装备与工艺，并对核心技术进行了相应的专利布局。

上海微电子、中科院光电所和中微公司位于榜单第二梯队，总分也领先于其他企业。其中，上海微电子和中科院光电所的专利总量分别位列第二和第三，爱集微专利价值度分别为0.48和0.43，显示出较强的专利创新实力。上海微电子以光刻设备研发为核心，其专利布局主要集中于光刻机、工件台、测量装置、投影物镜、预对准等专业技术领域。

中微公司排名第四，尽管总分落后于前三名，但中微公司的爱集微专利价值度为0.64，相比于前三名，虽然专利数量较少，但在专利价值上具有一定的竞争力。中微在等离子体、处理装置、反应腔、半导体等领域拥有丰富专利布局，其等离子体刻蚀设备被广泛应用于国际一线客户的65nm到5nm及更先进工艺的芯片加工制造及封装。

屹唐半导体和中电科48所分列五六位，总分分别为553和428，两家专利总量略有差异，而屹唐半导体的爱集微专利价值度0.59比中电科48所的爱集微专利价值度0.48高出不少，最终专利创新分值拉大差距，表明屹唐半导体的专利价值更具竞争力。屹唐半导体成立于2015年12月，主打产品包括干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备，短短7年的时间，其干法去胶设备市场占有率全球第一，快速热处理设备市场占有率全球第二，足见其强劲的技术实力。

排名第7至12位由中电科45所、盛美半导体、华兴源创、赛腾精密、捷佳伟创和至纯科技占据，总分处于300-400之间，专利创新实力旗鼓相当。盛美是半导体清洗设备市场国内领先厂商，其专利总量虽然少于华兴源创，然而盛美半导体凭借较高的爱集微专利价值度0.59反超华兴源创跃居第8位。华兴源创是国内首家拥有自主研发Sub-6G射频矢量信号收发板卡的厂商，打破了国内在5G射频专用测试领域完全依赖进口设备和进口射频矢量板卡的局面。至纯科技主营湿法设备，公司布局的湿法设备均为自主研发及生产，均有公司自主的专利。

TOP20企业中，300分以下的有8家，真心半导体、中科飞测的爱集微专利价值度偏低，导致其总分靠后。可见，企业在科技创新的同时，除了通过提升专利数量进行充分布局外，还应当注重专利质量从而提高保护力度。

中国大陆半导体设备领域企业——国际视野榜单

企业在海外获得专利保护可为其产品进入海外市场保驾护航，能够提升产品的市场地位和竞争优势，因此，海外专利布局对企业参与全球市场竞争与拿到国际市场话语权具有重大意义。爱集微知识产权针对海外专利布局的统计数据，发布了中国大陆半导体设备领域企业国际视野榜TOP10。

国际视野榜TOP10中，屹唐半导体表现最为亮眼，其海外专利占比高达86%，大幅领先其他企业，一骑绝尘，当然，这应该与屹唐半导体在2016年收购了美国半导体设备厂商Mattson Technology Inc.（MTI）相关。通过收购业内海外成熟品牌的知识产权资产来快速提升竞争力，已成为国内企业打开国际市场的有效渠道。

从海外专利布局数量上来看，除屹唐半导体外，中微公司、上海微电子和北方华创的数量相当并显著高于其他企业，这也体现了三家国内半导体设备龙头厂商强劲的国际竞争力；此外，中微公司的海外专利占比也高达43%，可见其非常重视全球化知识产权保护。从海外专利占比数据来看，盛美半导体、天虹科技、鲁汶仪器、东方晶源、众硅电子、拓荆科技等企业虽然目前海外专利布局数量相对较少，但海外专利占比均超过15%，盛美半导体更是高达52%，显示出这些企业具有较高的全球化视野。

鲁汶仪器成立于2015年，公司在半导体刻蚀设备及工艺开发方面有着深厚的技术积累，创造性地提出了ICP IBE PECVD多腔体刻蚀技术方案，配合其专利技术“腔体在线清洗”技术，有望解决磁性薄膜材料刻蚀难题，获得了业界的高度评价。东方晶源自2014年成立以来，一直致力于光刻、电子束图像检测、关键尺寸测量等领域，并成功研发出三大核心技术：计算光刻技术（OPC）、纳米电子束探伤设备（EBI）、关键尺寸测量设备（CD-SEM)，对整个半导体产业链的自主可控有着重大的战略意义。近期，光刻机巨头ASML指控了东方晶源侵犯其知识产权，将采取法律行动，东方晶源回应称其形成了独立、完备的知识产权体系，能够抵御风险，让人拭目以待。众硅电子成立于2018年5月，专注于高端化学机械平坦化（CMP）设备领域，公司成立时间虽短，但通过在全球进行专利布局，不断攻克CMP关键技术，终于研发出国际首台6抛光盘的12英寸CMP设备，该技术的布局已经领先国外，解决了高端设备“卡脖子”问题，是国货之光。

海外专利布局的重要性不言而喻，在未来是否有意向在全球范围内加强专利布局、并预防产品出口可能遭遇的知识产权阻击，是值得各家企业重点关注的议题。

中国大陆半导体设备领域企业——行业影响力榜单

以专利被引用情况作为企业的技术对行业技术的贡献大小的参照。专利被引用的情况包括被其他专利文献公开引用，或在其他专利的实质审查程序中审查员将本专利文献作为对比文献在通知书或检索报告中引用。专利被引用数量的多少和专利被引用占比的高低可以反映出企业披露的专利对应的技术方案的研究热度和业内关注活跃度，侧面反映出企业专利的技术先进性和对行业的贡献程度。爱集微知识产权基于各企业被引用专利数量和被引用专利占比的合理权重，生成行业影响力得分，并发布中国大陆半导体设备领域企业专利行业影响力榜TOP10。

行业影响力榜TOP10中，赛腾精密、盛美半导体、屹唐半导体和中电科第48所位列前四，被引用专利数量均300件左右，并且被引用专利占比均超35%，表明其专利披露的技术内容受到业内的广泛关注。排名第六位的中科院光电所虽然被引用专利数量有807件，但被引用专利占比相对低，导致其排名低于至纯科技。上海新阳的专利总量少，但被引用专利占比超30%，因此也榜上有名，排名第十，表明其专利技术具有较高的研究热度。

通过专利被引用情况作为线索进行技术追踪与风险排查，是业内企业可以选择关注的议题。

中国大陆半导体设备领域企业——企业成长力榜单

近些年，随着国内半导体行业的高速发展，产业需求不断提升，使得半导体设备领域也不断涌现很多创新实力强劲的科技型企业，不容小觑。爱集微知识产权选择了2014年9月以后成立的半导体设备领域企业，基于各企业专利年产出数量和爱集微专利价值度的合理权重，发布中国大陆半导体设备领域企业成长力榜TOP20。

屹唐半导体以133件的专利年产出量以及0.59的爱集微专利价值度评分排名第一，在成长力榜中一马当先。排名第二至第六的是鲁汶仪器、亚电科技、中科飞测、格芯集成电路和宏泰半导体，专利年产出均超过40件，爱集微专利价值度均在0.4左右，专利竞争力较高。真芯半导体虽然专利年产出228件排名第一，但其爱集微专利价值度偏低，导致其排名第7。亚电科技在企业成长力榜中排名第三，公司专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术，是国内首批推进半导体高端设备国产化的企业之一，其核心产品包括8英寸、12英寸槽式/单片湿法刻蚀清洗设备，作为一家拥有自主知识产权的高科技企业，公司所有核心技术均已申请发明专利，具备完善的知识产权体系。中科飞测成立于2014年，主要从事检测和量测集成电路专用设备的研发、生产和销售，公司产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。

排名前十的企业还有精测半导体、烁科中科信和烁科精微，三家企业的专利年产出在30-45件之间，爱集微专利价值度均超过0.4。其他成长力榜中企业的专利实力相当，虽然成立时间不长，但年产出专利都不少，表明这些企业都较为重视知识产权的布局。

专利年产出数量可侧面体现一家企业的专利和技术实力，结合爱集微专利价值度可综合评价该企业的创新竞争力，为业内同行或投资企业提供参考。

中国大陆半导体设备领域企业——专利实力星级榜单

最后，爱集微知识产权针对中国大陆半导体设备领域企业发布专利实力星级榜。

本次发布的榜单针对中国大陆半导体设备领域企业，各家企业的产品涵盖清洗、光刻、CMP、PVD、CVD、刻蚀、热处理、去胶、涂胶显影、离子注入、量测等不同领域的设备，由于技术的难易度以及企业历史与规模等多方面的因素，体现在分值上具有较大的差异。公众可通过各个企业间的数据对比，作为企业的技术创新能力、知识产权的重视程度和投入的参考。

爱集微知识产权将持续关注各企业的专利数据更新和专利技术披露，并对榜单进行定期更新。

关于爱集微

爱集微成立于2008年，在北京、上海、深圳、厦门、南京均有业务布局，是面向全电子行业产业链，集行业融媒体矩阵、企业品牌营销策划、投融资服务、产业链知识产权保护、行业研究、职场服务为一体的，ICT领域权威的产业服务机构。

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“爱集微知识产权”由曾在华为、富士康、中芯国际等世界500强企业工作多年的知识产权专家、律师、专利代理人、商标代理人以及资深专利审查员组成，熟悉中欧美知识产权法律理论和实务。依托爱集微在ICT领域的长期积累，围绕半导体及其智能应用领域，在高价值专利培育、投融资知识产权尽职调查、上市知识产权辅导、竞争对手情报策略、专利风险预警和防控、专利价值评估和资产盘点、贯标和专利大赛辅导等业务上具有突出实力。在全球知识产权申请、挖掘布局、专利分析、诉讼、许可谈判、交易、运营、一站式托管服务、专利标准化、专利池建设等方面拥有丰富的经验。我们的愿景是成为“ICT领域卓越的知识产权战略合作伙伴”。详询：刘女士（15010062699），吴先生（18510589936），ijiwei_ip@ijiwei.com。