上海至纯蒋渊：经历“沙、土、林”的沉淀，中国半导体设备产业黄金窗口期已至

（集微网/木棉）过去几十年，半导体设备基本被美日欧等国家的企业所垄断，但全球半导体产业第三次转移历史机遇期已来临，同时摩尔定律步伐的放缓将为中国设备厂商追赶世界一流技术水平提供时间窗口。在这产业转移的过程中，也催生了像上海至纯洁净系统科技股份有限公司这样的龙头企业。

作为中国半导体产业的参与者、建设者和观察者，上海至纯又是如何看待中国的半导体产业的？中国半导体设备产业如何才能实现突围？在第七期集微龙门阵之“突围！晶圆制造大发展下的中国半导体设备”的直播中，上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事长蒋渊给我们做了解答。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事长蒋渊

中国半导体产业将经历“沙、土、林”的过程

蒋渊虽然称上海至纯是中国半导体产业的“新兵”，但其实成立于2000年的上海至纯已经是一家具有二十年历史的“老牌”企业了。而蒋渊本人更是见证并经历了国家从光伏、半导体照明等领域再到半导体的发展。

提到当前中国晶圆厂发展，蒋渊认为：“中国晶圆厂的进展是‘迟来的发展’。”蒋渊在1997-1998年的时候就进入这个领域，当时她在外企工作，当开会讲到中国的半导体领域，全员是沉默的状态，“这就是当时中国半导体的状态”，回忆过往满是辛酸。到了2000年初左右，从中芯国际开始，虽然产业开始慢慢发展了，但是整体的感受还是中国在集成电路领域仍是停滞的状态。

回顾从光伏到半导体照明的历史，再到如今半导体产业的发展，蒋渊总结到：“其实国家在大的产业上都会经历‘沙、土、林’的一个过程。”

“就晶圆制造而言，放眼全国最早的时候只有几家企业在做，其实就是一个‘沙漠’的状态。后来，随着中芯国际、华虹等少量的企业发展，以及简单的半导体工艺的发展，逐渐培养了很多人才，把‘沙漠’培养成‘土壤’。最近几年国家在先进制程、存储等方面的发展，其实就是土壤在夯实。而未来一定会是发展成‘生态林’的过程。”蒋渊谈到。

近年来，国家也加大了对半导体设备的投入。特别是成立于2019年10月的大基金二期项目，据悉大基金二期将重点向设备和材料领域倾斜，大基金管理人特别强调二期基金将对在刻蚀机、薄膜设备、测试设备和清洗设备等领域已布局的企业保持高强度的持续支持，推动龙头企业做大做强，形成系列化、成套化装备产品。

在政府和社会的各种资源投入下，蒋渊认为，在发展初期，鼓励更多的参与者进来对产业的推动还是有积极的作用的。但是也要看到存在“一窝蜂”投向某个项目，造成资金和人员等资源分散、效率低下等造成浪费的情况。

不过，即便如此，她还是倾向于“多投派”，蒋渊如是解释：“凡事有扬起的过程也会有沉淀下来的过程。最重要的是在中国当前的背景下，能够激发有志之士有砥砺前行的行动。所以，最后沉淀下来的时候，资金还是会配置到真正做大事的人群当中。”

中国半导体设备“黄金窗口期”已打开

据SEMI的统计，2018年全球半导体设备达到645.3亿美元，其中晶圆处理设备为502亿美元，按5％的比例计算2018年湿法清洗设备全球市场规模约为25.1亿美元。然而，目前设备平均国产化率仅5%~10%，可替代空间巨大。

对于当前国产半导体设备的现状，蒋渊也有深刻的认识：“目前中国的半导体设备企业在全球占比仍然较少，即便是北方华创和中微半导体这样的大企业，其所占的市场份额也较少。从湿法工艺领域来看，高端制程设备也只有少数几家厂商在研发，几家加起来也只有10%的市场份额。虽然占比较小，但这也意味着存在巨大的市场增量空间。”

更为重要的是，“目前客户正处于高速成长期，因此也为国内半导体设备企业带来了很好的发展机遇，‘黄金窗口期’已然打开。对于国产设备企业而言，团队是否有能力抓住市场机遇是最重要的。”

纵观全球，欧美、日本和韩国半导体产业都曾迎来黄金阶段，半导体发展的过程中，也带动了一批优秀的设备企业快速发展。蒋渊预测，欧美、日本、中国台湾三分天下的格局最终会加入中国大陆的发展，达到四分天下的结局，而中国大陆在这过程中，一定会培育整个生态和产业链。

“因此，随着全球半导体产业逐渐向中国转移，一定会诞生几家巨头企业，而国产设备厂商虽然只是产业链中很小的一个群体，但是一定是产业链中生命力最旺盛的群体，即小而有力量。”蒋渊对中国半导体设备产业的未来表示乐观。

中国半导体设备产业如何实现突围？

数据显示，国内设备及材料的龙头企业与国际龙头企业的收入差距在50倍左右 (2亿美元VS 100亿美元)，在全球半导体产业的层层包围中，中国设备企业要实现突围并不容易，在这过程中，中国晶圆制造与本土设备厂商的联动对于产业的推动极为重要并尤有意义。

“在联动当中，好比大手牵小手。大手就是下游的大客户，他们能够给予本土厂商很多尝试的机会，他们的反馈能够帮助本土厂商成长。”蒋渊如是言。

令她欣喜的是，她原先认为在这种联动当中需要很长一段时间的机台替代，才会走到共同开发的节点，但现在产业发展很快，和客户做合作开发已经开始了。

蒋渊谈到：“本土厂商在大厂的扶持下，努力去发展，在这过程中自己也得到成长，并积累能力，提高了响应速度和专业的研发能力，反过来看，对大厂又是一个回馈，是良性的联动循环。”

从更远的层面上来讲，其实现在资本方面也会做一些联动，比如在长江存储的创新中心，上海至纯会作为投资者参与其中，希望能够帮助创新中心的工艺开发。反过来，一些上市公司做战略融资的时候也会和下游进行联动。“所以，整体而言，在未来的五到八年或者八到十年，下游厂商跟设备厂商的互动速度会加快，层次会递进，尤其是在共同开发工艺的时候。”蒋渊表示。

“不过，走出国外还需要一个过程，目前看来国内空间足够大，突破点可以从够得着领域出发，抢夺市占率，大家一起努力，从国外厂商手里去抢占空间。虽然这个过程非常不容易，从IP自主、产能爬坡，到供应链自主，每项任务都需要能啃硬骨头、坐冷板凳的团队去做。但是，设备是用出来的，不是造出来的。我们可以一个工艺段一个工艺段去做，一个机型一个机型去做替代。”蒋渊给产业链上下游厂商之间如何联动指了一条明路。

最后，回到中国半导体设备产业能否取得突围的问题，蒋渊认为，虽然中国设备厂商要实现突围并不容易，但是，她相信在中国这片土地上是可以实现的：“当然，必要的条件是能够有使命感、能沉下心的团队去踏踏实实地做。现在已经涌现了很多这样的人在中国半导体设备领域耕耘。此外还有一个条件是，国内芯片厂商能够给设备企业提供尝试的机会。”

目前，国家将半导体产业视为重要的、战略性的产业。“上海至纯作为半导体设备领域的‘新兵’，希望在专有的地方做深，推动半导体产业在未来的八到十年不断地发展。”对于上海至纯的未来，蒋渊如是说。

（校对/范蓉）