晶瑞电材:已到位5台光刻机,KrF/ArF光刻胶双箭齐发

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集微网消息12月15日,据晶瑞电材发布调研信息表示,公司目前已经到位的光刻机总计有5台,其中KrF光刻胶量产线正在建设中,而ArF光刻胶研发工作正积极进行中。

据晶瑞电材表示:“公司近期已购得KrF光刻机一台,可用于KrF光刻胶的曝光测试,同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。此前,公司已经购得用于负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机,再加之此次购得的KrF光刻机,公司已经到位5台光刻机。”

据其详细介绍,公司高端KrF(248)光刻胶已完成中试,建成了中试示范线,已进入客户测试阶段。近期已购得KrF光刻机一台,可用于KrF光刻胶的曝光测试,同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。目前ArF(193)高端光刻胶研发工作已正式启动,已完成光刻机、匀胶显影机、扫描电镜、台阶仪等设备购置,其中ASML1900Gi型光刻机设备正在积极调试中。同时公司正在积极开展对上游材料树脂单体及配方的研究。

据悉,该公司3万吨电子级硫酸产线已于今年上半年顺利通车,经试生产调试,产品金属杂质含量低于10ppt,达到G5级水平,品质已达全球同行业第一梯队水平,产品技术指标可以履盖目前全部先进集成电路技术节点的要求。目前,公司正在积极开展客户论证测试,市场反应良好。现有3万吨硫酸项目的顺利建设为二期6万吨硫酸项目的顺利实施提供了基础和保障。二期6万吨电子级硫酸项目已启动,项目的建设期为12个月,当前已取得环评审批。

而在新能源方面,该公司表示,公司是一家微电子材料的平台型高新技术企业,围绕泛半导体材料和新能源材料两个方向,努力打造为集研发、生产、检测、销售、技术支持于一体的国际知名微电子化学品制造企业,公司锂电池材料主要产品包括NMP、SBR、CMCLi、PAA、电解液等。当前公司锂电池材料产品产销两旺,根据公司战略发展规划,为进一步推进公司产能布局,满足市场迫切需求,巩固行业领先地位,公司全资子公司晶瑞新能源拟使用自筹资金投资建设年产5万吨NMP项目。

谈及未来增长点,据晶瑞电材表示,受益于我国半导体材料行业国产替代进程提速,下游芯片厂商需求增长,当前公司主导产品半导体级光刻胶及配套材料、超净高纯试剂、锂电池材料等产销两旺,未来随着公司KrF光刻胶测试完成并逐步量产、ArF光刻胶研发成功并最终量产,以及公司南通、陕西、四川等基地新增的高纯硫酸、NMP、光刻胶等产品产能的逐步释放,有望成为公司新的利润增长点。

而在前不久,晶瑞电材发布2021年度以简易程序向特定对象发行股票预案(修订稿),公告指出,本次发行所募集资金主要投资于阳恒化工年产 9 万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目(二期)以及补充流动资金或偿还银行贷款。

本次发行的发行对象为诺安基金管理有限公司、济南瑞和投资合伙企业(有限合伙)、财通基金管理有限公司、高盛公司(Goldman Sachs&Co.LLC)、郭伟松,所有发行对象均以现金方式认购本次发行的股票。

据悉,本次发行拟募集资金总额为 276,999,997.16 元,不超过人民币 27,700 万元,不超过人民币三亿元且不超过最近一年末净资产百分之二十;在扣除相关发行费用后的募集资金净额将全部用于以下项目:

其中,阳恒化工年产 9 万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目(二期)目标为,江苏阳恒化工有限公司在原厂址区域内,在不增加硫酸总产能和排污总量及污染因子的前提下,通过引进技术装备对原基础化工产品工业用硫酸生产装置进行改造提升,生产部分半导体级高纯硫酸,实现技术改造标准达到国际先进水平,安全、环保、投入产出水平高于原项目水平。本次发行用于阳恒化工年产 9 万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目(二期)投资,本项目产能为 60,000 吨/年。

晶瑞电材指出,2020 年 6 月,公司启动阳恒化工年产 9 万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目(一期)。经试生产调试,公司半导体级高纯硫酸产品金属杂质含量低于 10ppt,达到 G5 级水平,品质已达全球同行业第一梯队水平, 产品技术指标可以履盖目前全部先进集成电路技术节点的要求,符合公司预期。目前,公司正在积极开展客户论证测试,市场反应良好。现有一期项目的顺利建设为二期项目的顺利实施提供了基础和保障。(校对/Wenbiao)

责编: 邓文标
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