华虹七厂首批光刻机搬入!9月试生产,12月形成量产能力

Oliver 2019-06-06

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华虹七厂首批光刻机搬入!9月试生产,12月形成量产能力
作者: Oliver
责编: Aki

集微网消息,6月6日,华虹无锡集成电路研发和制造基地(华虹七厂)一期12英寸生产线建设项目首批光刻机搬入仪式顺利举行。

华虹半导体新任总裁唐均君表示,截至昨(5)日,华虹七厂已搬入35台工艺设备,其中25台已安装完成并成功上电,从打桩到设备搬入仅用时14个月。

ASML全球资深副总裁Bert Savonije在致辞时表示,华虹七厂是华虹走出上海的第一个Fab,ASML见证了华虹速度的新纪录、华虹团队的执行效率和使命感。华虹肩负着加快中国集成电路产业发展的重要使命,华虹七厂的落成是这其中的一个重要里程碑,ASML非常荣幸能参与其中,通过这个项目为中国半导体做出贡献。

两周前,ASML与华虹团队在华虹六厂庆祝了合作十周年。Bert Savonije进一步指出,自2009年以来,作为华虹的战略合作伙伴,ASML与华虹团队紧密合作,并在光刻领域取得了可喜的成果。

当前,半导体产业成为了中国经济发展战略的一个重要组成部分,同时也面临着重重挑战,任重道远。华虹七厂作为一个全新的Fab,也会面临很多新课题。Bert Savonije强调,作为华虹的伙伴,ASML希望在进程中继续贡献力量,十分荣幸能为华虹提供中国大陆最先进的干式光刻机,承诺以专属团队持续提供强有力的技术支持,协助华虹七厂的启动以取得成功。

华虹集团总裁王靖表示,2018年3月2日,华虹集团以新时代、新征程开启了总投资100亿美元的华虹无锡集成电路研发和制造基地项目,这是华虹集团在上海以外,长三角区域布局的第一个制造项目。她指出,首批三台光刻机的搬入标志着华虹七厂从基建阶段进入到了试生产准备阶段。

最后,王靖强调,“集成电路产业是一场没有终点的马拉松,需要全球业界的通力合作和高度共识。”

首批3台光刻机搬入后,目前华虹七厂已共计搬入38台设备。据透露,华虹七厂预计将于9月进行试生产,12月形成量产能力。(校对/Aki)

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