华虹七厂首批光刻机搬入！9月试生产，12月形成量产能力

作者： Oliver

2019-06-06

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集微网消息，6月6日，华虹无锡集成电路研发和制造基地（华虹七厂）一期12英寸生产线建设项目首批光刻机搬入仪式顺利举行。

华虹半导体新任总裁唐均君表示，截至昨（5）日，华虹七厂已搬入35台工艺设备，其中25台已安装完成并成功上电，从打桩到设备搬入仅用时14个月。

ASML全球资深副总裁Bert Savonije在致辞时表示，华虹七厂是华虹走出上海的第一个Fab，ASML见证了华虹速度的新纪录、华虹团队的执行效率和使命感。华虹肩负着加快中国集成电路产业发展的重要使命，华虹七厂的落成是这其中的一个重要里程碑，ASML非常荣幸能参与其中，通过这个项目为中国半导体做出贡献。

两周前，ASML与华虹团队在华虹六厂庆祝了合作十周年。Bert Savonije进一步指出，自2009年以来，作为华虹的战略合作伙伴，ASML与华虹团队紧密合作，并在光刻领域取得了可喜的成果。

当前，半导体产业成为了中国经济发展战略的一个重要组成部分，同时也面临着重重挑战，任重道远。华虹七厂作为一个全新的Fab，也会面临很多新课题。Bert Savonije强调，作为华虹的伙伴，ASML希望在进程中继续贡献力量，十分荣幸能为华虹提供中国大陆最先进的干式光刻机，承诺以专属团队持续提供强有力的技术支持，协助华虹七厂的启动以取得成功。