将为其晶圆制造厂供应各种超高纯度气体，积塔半导体制氮机成功开机
2020-05-07
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集微网消息，近日，林德气体宣布，其为积塔半导体建造的一台制氮机在上海开机成功，目前开机运行的为计划建造的两台高纯制氮机中的第一台，第二台预计将于2022年上线启用。
据悉，该台制氮机位于上海临港产业区，将为积塔半导体的晶圆制造厂供应各种超高纯度气体（如氮气、氧气、氩气、二氧化碳）以及压缩干空气（CDA）。
图片来源：林德气体
积塔特色工艺生产线建设项目于2018年8月开工建设，2019年12月设备搬入。该项目位于临港重装备产业区，总投资359亿元，是上海市政府与中国电子信息产业集团合作协议的重要内容，也是其中第一个落地的重大产业项目。
据悉，该项目目标是建设月产能6万片的8英寸生产线和5万片12英寸特色工艺生产线
2020年3月30日，积塔半导体特色工艺生产线正式投片。（校对/小如）
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赵碧莹
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