大连华邦化学项目开工，建设半导体用气体纯化设备研发生产基地
2022-11-01 
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集微网消息，10月28日，大连华邦化学有限公司（以下简称“华邦化学”）研发生产基地在高新区正式开工建设。
图源：大连高新
大连高新消息显示，该项目总投资1亿元，占地面积1.25万平方米，将建设半导体专用设备-气体纯化设备研发生产基地。项目开工建设对于加快高新区产业结构调整、提高区域科技创新水平、推进大连市集成电路装备及材料产业集群建设将起到积极的促进作用。
华邦化学成立于2013年，是国内气体纯化设备的企业，由中科院大连化学物理研究所专家联合创办，团队掌握催化剂、吸附剂、Getter等核心技术。公司主要产品体系包括超纯气体纯化器的研制生产、加氢催化剂、物料精制剂、NOx净化装置，以及超纯气体现场供应及管理。
其官网显示，华邦化学投资百万元打造高纯气体分析实验室，成功研制了HPC-9N系列纯化器，产品已成功应用于国内多条12英寸产线，以及数十条6～8英寸、TFT、LED、IGBT等产线。（校对/王婉青）
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韩秀荣
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