最近中芯国际接二连三传出好消息。
先是获得部分美设备厂商的供应许可,接着中芯国际披露,公司于2月1日与阿斯麦(ASML)上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议,将采购协议的期限延长一年至2021年12月31日。根据批量采购协议,公司已就购买用于生产晶圆的阿斯麦产品(即光刻机)与阿斯麦集团签订购买单,订单金额12亿美元。
众所周知,EUV光刻机是生产5nm芯片必不可缺的设备。那么,中芯国际此次12亿美元的采购协议都有哪些类型的光刻机,包含EUV光刻机吗?
据业内资深人士透露,除了EUV光刻机,中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机,包括DUV(深紫外)光刻机。(校对/nanana)