第一台EUV曝光设备将被引入，SK海力士M16工厂竣工

作者： 图图 2021-02-01
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集微网消息，2月1日，SK海力士M16工厂在韩国京畿道利川总部举行竣工仪式。

图片来源：FETV

据韩国媒体FETV报道，SK海力士M16工厂于2018年11月开始建设，共投资了3.5万亿韩元，时隔25个月内完成建设。M16工厂主要生产DRAM产品，建筑面积为57,000平方米（17,000坪），长336m，宽163m，高105m。它是SK海力士在韩国内外最大的生产基地。

值得一提的是，M16首次引进EUV光刻设备，并从今年下半年开始生产1αnm DRAM产品。（校对/若冰）

责编： 赵碧莹
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