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传SK海力士M16厂正安装EUV光刻机,新一代DRAM最快1H亮相

holly·01-20 14:31·IC  来源: 爱集微

集微网消息,据etnews报道,SK海力士已开始在其位于韩国利川的M16工厂安装EUV光刻机,以量产10nm 1a DRAM。

图源:etnews

此前SK海力士宣布将在今年年内在M16厂建设产线以生产下一代DRAM,不过并未透露ASML EUV光刻机的引进方式、确切时间等。

因此业内人士有诸多揣测,包括将研究大楼R3的2台EUV光刻机转移至该产线,并计划于今年2月开始安装新购买的设备等。现在看来,SK海力士新设备的购买和安装速度快于业界预期。

该报道指出,EUV光刻机的安装时程需要3-6个月,因此SK海力士最快可以在今年上半年量产第一批产品。

据悉,ASML是EUV光刻机的独家供应商,单台的售价超过1.35亿美元。

(校对/零叁)

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