打造北方最大半导体材料生产基地,山东有研通线量产仪式在德州举行

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集微网消息,10月16日,山东有研半导体材料有限公司“集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目”量产通线仪式举行。

图片来源:海报新闻

该项目的落成和通线投产标志着有研半导体新的起航,实现了年产6、8英寸硅片456万片和12-18英寸硅单晶300吨能力,并为后续12英寸硅片的实施奠定了良好基础。

山东有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目由有研科技集团、日本RST株式会社控股的有研半导体材料有限公司出资,山东有研半导体材料有限公司建设。山东有研项目建成投产后,将成为北方最大的半导体材料生产基地。

2018年7月26日,山东有研半导体材料有限公司“大尺寸半导体硅材料规模化生产基地建设项目”的签约。

山东有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目于2018年7月26日签约落地山东德州,2019年3月份举行开工仪式,项目总投资80亿元,分两期建设。其中一期18亿元,二期62亿元。一期将形成年产276万片8英寸硅片、180万片6英寸硅片以及300吨12-18英寸硅单晶的生产能力。二期建设目标为年产360万片12英寸硅片。(校对/若冰)

责编: 韩秀荣
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