大族激光：公司光刻机项目分辨率3-5μm，和阿斯麦没有合作

作者：施旭颖 2020-09-22

来源：爱集微 #阿斯麦# #大族激光#

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集微网消息，9月22日，大族激光在互动平台答投资者提问时表示，公司光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等方面的应用，和荷兰阿斯麦公司没有业务往来。

此前，大族激光发布投资者调研相关信息，公司在激光器、切割头、数控系统、电机等核心部件上，均具备自产能力。

大族激光当时透露，近年来，公司大功率光纤激光器的自产率正逐步提升，激光器核心部件的自产率超过90%。公司光刻机项目进展顺利，主要聚焦在5G通讯配套分立器件、LED、Mini/Micro-LED新型显示等方面的应用，已经实现小批量销售。（校对/若冰）

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