打造北方最大半导体材料生产基地，山东有研首根8英寸直拉硅单晶拉制成功

集微网消息，据齐鲁网报道，山东省首根8英寸集成电路用8英寸直拉硅单晶拉制成功，标志着山东有研这一省重大项目的建设进入了新的阶段。

图片来源：齐鲁网

山东有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目由有研科技集团、日本RST株式会社控股的有研半导体材料有限公司出资，山东有研半导体材料有限公司建设。

据齐鲁网报道，山东有研项目建成投产后，将成为北方最大的半导体材料生产基地。目前，一期项目正进行收尾，130余台套工艺设备陆续进场，部分工艺设备将进入试运行阶段；二期12英寸硅片规模化生产项目也在积极筹备，计划明年开工建设。

有研科技集团是国资委管理的96家央企之一和国内有色金属行业规模最大的综合性研究开发机构，在国内唯一掌握18英寸硅单晶技术、12英寸硅片技术，率先实现8英寸硅片商业化，12~18英寸硅单晶产品可满足全球最先进的半导体设备应用要求。

山东有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目于2018年7月26日签约落地山东德州，2019年3月份举行开工仪式，项目总投资80亿元，分两期建设。其中一期18亿元，二期62亿元。一期将形成年产276万片8英寸硅片、180万片6英寸硅片以及300吨12-18英寸硅单晶的生产能力。二期建设目标为年产360万片12英寸硅片。

2019年12月18日，德州市政府与有研科技集团有限公司、株式会社RS Technologies、德州汇达半导体股权投资基金合伙企业共同签约12英寸集成电路用大硅片产业化项目。总投资62亿元的山东有研年产360万片12英寸硅片签约落地山东德州。（校对/若冰）