中安在线讯 “科技兴企、产业报国。”在合肥市经济技术开发区，一家由海归团队任“创业元老”的高新技术企业，目前已发展成为高度本土化的国内半导体设备龙头企业。
“当初，也考虑过在无锡设立公司。但合肥作为全国惟一的科技创新型试点市，有着其他城市无法比拟的优势，于是，芯硕半导体(中国)有限公司还是选择了合肥。”芯硕半导体(中国)有限公司董事长刘军说。
光刻技术是大规模集成电路生产中的关键技术，光刻的分辨率越高，所制成的电路器件尺寸就越小，单位面积上的器件密度就越高。光刻技术在产业链中有着“四两辖万金”的作用，直接影响到整个集成电路产业的利益划分。
“目前国内几乎所有的集成电路制造厂使用的光刻设备全部依赖进口或使用国外淘汰的二手设备，这些设备性能滞后，维修成本高。同时，西方发达国家对与高端光刻设备有关的设备和子系统的出口设置种种障碍。其结果是，我国国内与光刻设备有关的产业链得不到有效发展，并影响到我国信息产业的健康发展。”光刻系统资深工程师刘军在美国工作多年，“回国把这行做好”就是刘军当时回国创业的简单理由。
2006年11月，芯硕半导体(中国)有限公司成立，它将硅谷的气息成功带到了合肥。公司技术团队的核心成员主要来自国际相关知名企业，具有丰富光刻系统设计、应用和管理经验。而当时，说服这些掌握着光刻领域高端技术的硅谷工程师放弃在国外优厚的待遇回国从头打拼，却也不容易。
“我们要做出什么样的产品，这个产品又有着怎样的价值和市场？我没有实物去说服大家。我能给的，也就是一个愿景而已。我觉得，他们都不缺一份工作，但都需要一份事业。”正是刘军给出的这份愿景，说动了一批技术骨干加盟芯硕。如今，芯硕已培养出超过百名的半导体设备尤其是光刻设备方面的专业人才，其中60%以上拥有博士、硕士学位，实现了基础力量的本土化。
掌握核心技术，才能创立自主品牌；利用全球资源，才能取得领先优势。目前芯硕拥有已获批复的专利12项，此外，正在公示阶段的专利仍有40余项。目前，芯硕已成为我国唯一有能力研发、生产、销售亚微米光刻机和90nm集成电路工艺中套刻检测设备的专业设备商。
“技术人员，一定不能有浮躁和畏难情绪。因为我们做的就是攻坚克难的事，不能因为美国、日本还没有造出来，我们就打退堂鼓。再高精尖的设备，也是人造出来的，你不攻关，就一定会有其他人造出来。”技术工程师出身的刘军和他的团队，就是用这样的理念搞研发、办企业。
芯硕公司在不到两年的时间内，成功研制出中国首台商用亚微米级光刻机，并于2009年1月成功进入市场，填补了我国在这一领域的产业空白。而国外某知名500强企业研制同类光刻设备用时6年才实现首台销售。可见“芯硕速度”的背后，是多少芯硕人怀揣梦想、艰苦攻关的结果。
“科技创新，就是让我们的产业强大起来，扭转我们很多产业大而不强的被动局面。”刘军说，“我们不要做‘打工集团’。在芯硕，我们不是在打工，因为这是所有芯硕人的事业。并且我们相信，通过国内半导体产业界同行的共同努力，中国的半导体设备产业在不久的将来一定可以在国际竞争中赢得应有的地位！”(记者：宋艺)
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